實驗室用超純水系統(tǒng)在很多地方容易生產(chǎn)，如碳床、樹脂床、深度過濾等設(shè)備。雖然使用了一些方法來實現(xiàn)高電阻率，但顆粒物并沒有被有效去除，這會導致半導體器件中出現(xiàn)針孔、短路、開路、內(nèi)部擊穿和光刻膠脫落等缺陷。為了去除顆粒物，僅使用膜過濾，一般采用孔徑為0.45微米的微孔濾膜作為標準，對于特殊需要，采用孔徑為0.22微米的微孔濾膜去除膠體鐵、膠體硅和小細菌，反滲透還可以去除小顆粒。

　　實驗室用超純水系統(tǒng)由預處理(多介質(zhì)過濾+超濾裝置)系統(tǒng)、反滲透系統(tǒng)、EDI電除鹽系統(tǒng)做為核心工藝。超濾系統(tǒng)、反滲透系統(tǒng)的低壓管路部分到EDI裝置進水均采用UPVC管路，反滲透高壓管路則采用承壓好的不銹鋼管。在EDI出水至拋光混床前采用Clean-PVC材質(zhì)，拋光混床后至回流管道采用PVDF材質(zhì)。

　　實驗室用超純水系統(tǒng)本身就擁有著非常合理的結(jié)構(gòu)設(shè)計，設(shè)備結(jié)構(gòu)設(shè)計相對靠緊，所以其占地非常小，可以為企業(yè)節(jié)省很多空間，實驗室用超純水系統(tǒng)在出廠前均需進行裝置調(diào)試，所以設(shè)備故障幾率較小，日常保養(yǎng)、維修等操作都非常簡單。

　　設(shè)備內(nèi)部還安置有反滲透預脫鹽技術(shù)，再次從根本上行保障了水處理設(shè)備的出水水質(zhì)，與此同時，超純水制取設(shè)備廢水產(chǎn)出量少，不會對環(huán)境造成污染，有非常高的環(huán)境效益、經(jīng)濟效益，其發(fā)展前景廣闊。

　　實驗室用超純水系統(tǒng)的安裝流程：

　　(1)、在選定的位置打孔或固定超純水設(shè)備?？滓獔A滑，深度、孔距要準確，孔圍不能有裂痕或缺口、毛邊。

　　(2)、與自來水管連接。先關(guān)閉自來水總閥，連接超純水設(shè)備，接口要纏生膠帶，不能漏水。

　　(3)、連接濃水排放口。純水機可將排污管直接放入排污管道，端口要留一定空間，以避免污水倒流入直飲水設(shè)備，防止排污口“虹吸”現(xiàn)象產(chǎn)生；如將直飲水設(shè)備排污管直接放入排污管道，應(yīng)在排污管端裝一球閥，不定時打開可起到排污作用；也可將排污管直接與原先自來水龍頭相連。排污管與直飲水設(shè)備排污口一定要接好，不能漏水。